興福電子“集成電路用超高純電子級(jí)硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目獲中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)
12月30日，2024中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)科技獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)在北京召開(kāi)。興福電子牽頭完成的“集成電路用超高純電子級(jí)硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲2024年度中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。
電子級(jí)硫酸是芯片產(chǎn)業(yè)用量最大、使用最廣泛、品質(zhì)要求最嚴(yán)苛的關(guān)鍵電子化學(xué)品，具有不可替代性。長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)先進(jìn)制程芯片用電子級(jí)硫酸幾乎依賴進(jìn)口，其生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被國(guó)外化工巨頭長(zhǎng)期壟斷，嚴(yán)重制約著我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展。
興福電子經(jīng)過(guò)多年持續(xù)研究攻關(guān)，開(kāi)發(fā)了多項(xiàng)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高純電子級(jí)硫酸及含硫酸蝕刻液成套新技術(shù)并成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，解決了我國(guó)超高純電子級(jí)硫酸以及高性能含硫酸基蝕刻液存在著原料雜質(zhì)含量高、產(chǎn)品純化難度大和關(guān)鍵設(shè)備易腐蝕、蝕刻液性能低等“卡脖子”難題。整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，其中微量低價(jià)硫化物定向轉(zhuǎn)化技術(shù)處于國(guó)際領(lǐng)先水平。該成果打破了國(guó)外對(duì)超高純電子級(jí)硫酸和硫酸基蝕刻液制備技術(shù)的封鎖，率先實(shí)現(xiàn)先進(jìn)芯片用超高純電子級(jí)硫酸國(guó)產(chǎn)化，為國(guó)產(chǎn)芯片供應(yīng)鏈安全提供了重要支撐。
十屆全國(guó)人大常委會(huì)副委員長(zhǎng)顧秀蓮向受到表彰的集體和個(gè)人表示祝賀，并對(duì)行業(yè)科技工作者提出殷切希望：要以科技創(chuàng)新引領(lǐng)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展，努力建設(shè)石油和化工現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系；要把高水平自立自強(qiáng)作為工作主線，培育行業(yè)創(chuàng)新發(fā)展新動(dòng)能。
“從今天受表彰的成果可以看出，技術(shù)創(chuàng)新已成為保障國(guó)家能源安全、推動(dòng)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí)、提升企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力的主要?jiǎng)恿??！笔?lián)合會(huì)黨委書(shū)記李云鵬總結(jié)道。他指出，石油和化工行業(yè)要發(fā)揮科技創(chuàng)新的根本支撐作用，加快發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，2025年行業(yè)在科技創(chuàng)新上要重點(diǎn)做好五方面的工作：一是加強(qiáng)原創(chuàng)性引領(lǐng)性科技攻關(guān)，建設(shè)現(xiàn)代化石油化工產(chǎn)業(yè)體系；二是著力編制好“十五五”科技發(fā)展指南，引領(lǐng)行業(yè)科技發(fā)展方向；三是加強(qiáng)技術(shù)交流和推廣，提升科技成果轉(zhuǎn)化能力；四是加強(qiáng)協(xié)同創(chuàng)新，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研用深度融合；五是培養(yǎng)造就高水平人才隊(duì)伍。
本次大會(huì)由石化聯(lián)合會(huì)副會(huì)長(zhǎng)傅向升、李彬主持。大會(huì)分設(shè)趙永鎬科技創(chuàng)新論壇、化工與新材料創(chuàng)新論壇和油氣技術(shù)創(chuàng)新論壇，近400名行業(yè)科技工作者與會(huì)。